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Seite: Fachinfo / Grundlagen / SNMS

Abb.: Quantitatives

Tiefenprofil

Abb.: Tiefenauflösung von metallischen Mehrfachschichten

Abb.: Oberflächenanreicherungen

 vor und nach Glühprozessen

 

Abb.: Quantitatives Übersichtsspektrum

Abb.: Mehrphasenstahl

nach dem Glühen

Typische Anwendungen in der Stahlindustrie

 

  • Quantitative Beurteilung von metallischen Schichten und Interfacebereichen
  • Nachweis von Oberflächenanreicherungen nach Glüh- und Beizprozessen
  • Vorbehandlungen, Konversionsschichten
  • Korrosion und Korrosionschutz
  • Analyse von Nichtleitern, Emaille- Kunststoff- und Lackschichten

Sekundär-Neutralteilchen-Massenspektrometrie - SNMS

 

 

Das Verfahren erlaubt eine quantitative Volumen- und Dünnschichtanalyse von metallisch leitenden und nichtleitenden Schichten. An die Probe wird eine negative Spannung angelegt, so daß Ar-lonen aus dem Plasma extrahiert werden und die zu analysierende Probe atomlagenweise abtragen.

 

 Die Nachionisation der abgetragenen Neutralteilchen erfolgt durch die Elektronen des Plasmas. Verantwortlich für die extrem hohe Tiefenauflösung von wenigen Monolagen ist die hohe lonenstromdichte des Plasmas bei niedrigen Beschlußspannungen von 50-1000 Volt. Es sind Erosionsraten von 0,05 nm bis 5 nm pro Sekunde erreichbar. Die Nachweisgrenze liegt für alle Elemente im ppm-Bereich oder darunter.

 

 

 

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